ITO 박막 전도도 (용액 공정)

용액 공정 기반 ITO-nanoparticle-film의 전기 전도도 및 성능 지수(figure of merit)를 어닐링 조건의 함수로 나타낸 것이다.

• 최대 전도도 313 Ω⁻¹ cm⁻¹ (550 °C / 2.1 × 10⁻³ Torr, 저진공 조건); 시트 저항 30 Ω sq⁻¹ (두께 300 nm 기준); 투과율 90% (see Kim et al., J. Mater. Chem. C (2013), Fig. 6, p. 5958).
• Haacke 성능 지수 B_TC = T¹⁰/R_sh = 5.4 × 10⁻³ Ω⁻¹로, 상용 스퍼터링 ITO 기준값 (B_TC = 5 × 10⁻³ Ω⁻¹, 20 Ω sq⁻¹, 두께 80 nm)과 유사한 수준이다.
• 아르곤 분위기 550 °C 어닐링 대조군: 이동도 0.84 cm² V⁻¹ s⁻¹, 전자 농도 4.4 × 10²⁰ cm⁻³ (see Kim et al., J. Mater. Chem. C (2013), p. 5956).

교차 문헌 맥락 (paper_030 인용 문헌 기준): 기존 나노입자 박막의 전도도 범위는 10⁻²–10² Ω⁻¹ cm⁻¹; MOD 박막은 10²–10³ Ω⁻¹ cm⁻¹; RF 스퍼터링 ITO는 ~10⁴ Ω⁻¹ cm⁻¹으로 보고된 바 있다 (see Kim et al., J. Mater. Chem. C (2013), p. 5953). 313 Ω⁻¹ cm⁻¹의 결과는 dual-pO2-conductivity-tradeoff에 의해 지배된다.